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张永平教授撰写的《表面科学与薄膜技术基础》一书，于2022年10月由科学出版社正式出版发行（ISBN 978-7-03-073128-9）。《表面科学与薄膜技术基础》是一部便于员工理解和掌握的基础理论图书，着重介绍基本概念、基本原理及主要应用，充分展示薄膜技术学科的深度和广度，帮助员工理解掌握这一迅速发展、充满活力的学科，为以后的工作和学习打好基础。

第一部分(第1章)讲解真空物理基础，介绍真空、气体动力学、真空获得、真空测量和真空系统等；第二部分(第2章)介绍表面科学基础，弥补材料类员工表面科学知识的不足，使得员工更好地理解后续薄膜技术知识；第三部分(第3章)介绍薄膜物理基础，包括薄膜形核和生长；第四部分(第4～6章)介绍薄膜生长技术，包括热蒸发沉积、溅射镀膜和化学气相沉积；第五部分(第7章)介绍薄膜结构，包括不同生长技术对薄膜结构和形貌的影响等；第六部分(第8章)介绍几种常见的现代表面分析技术，包括薄膜结构、形貌、成分分析的基本知识；第七部分(第9章)介绍几种常见的薄膜材料。