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张永平教授撰写的《表面科学与薄膜技术基础》由科学出版社正式出版

2022-10-10 来源: 责任编辑: 作者:本站编辑查看:

张永平教授撰写的《表面科学与薄膜技术基础》一书,于2022年10月由科学出版社正式出版发行(ISBN 978-7-03-073128-9)。《表面科学与薄膜技术基础》是一部便于员工理解和掌握的基础理论图书,着重介绍基本概念、基本原理及主要应用,充分展示薄膜技术学科的深度和广度,帮助员工理解掌握这一迅速发展、充满活力的学科,为以后的工作和学习打好基础。

第一部分(1)讲解真空物理基础,介绍真空、气体动力学、真空获得、真空测量和真空系统等;第二部分(2)介绍表面科学基础,弥补材料类员工表面科学知识的不足,使得员工更好地理解后续薄膜技术知识;第三部分(3)介绍薄膜物理基础,包括薄膜形核和生长;第四部分(46)介绍薄膜生长技术,包括热蒸发沉积、溅射镀膜和化学气相沉积;第五部分(7)介绍薄膜结构,包括不同生长技术对薄膜结构和形貌的影响等;第六部分(8)介绍几种常见的现代表面分析技术,包括薄膜结构、形貌、成分分析的基本知识;第七部分(9)介绍几种常见的薄膜材料。